日商Air Water量产全球最大尺寸SiC基板

日商Air Water Inc.20日发布新闻稿宣布，已成功研发出可生产全球最大尺寸的“碳化矽(SiC)”基板量产技术，借由该技术所生产的SiC基板尺寸可达8寸(现行主流为4寸)。

Air Water表示，已投下约20亿日圆于安昙野工厂内整备出月产2,000片的量产体制。据日经指出，Air Water该8寸SiC基板已进行样品出货，Air Water并计划于2016年以后将SiC基板事业营收扩增至数百亿日圆的规模。

Air Water表示，SiC基板可充做电源控制芯片、LED的底层基版，而该公司上述量产技术可同时满足“大面积”、“高品质结晶”及“低成本”等要求，故可望对电源控制芯片、LED的加快普及带来贡献。