三星跟进英特尔、台积电一起参与艾司摩尔合资案，业界并不意外，艾司摩尔有这3家全球半导体大厂的背书，也让极紫外光（EUV）技术与8吋晶圆的未来发展增添好兆头。
不过，三星仅入股ASML3%，是3家持股最少的合资者，甚至与艾司摩尔原先希望5%为1单位的计划不符合，有人推测，三星可能面临苹果诉讼官司费用大增，加上内存市况不佳，才会成为这次入股艾司摩尔金额最少的合资者。
据了解，出资少不代表以小搏大的效用最大，因为这次艾司摩尔与3家业者谈合资，是以“3：1”的方式来签约，也就是合资者每投入1元的研发（R&D）就能拿到3单位股票，意思是说，一旦EUV开发有成，ASML因此股价水涨船高，业者每1元的投资，就有3单位的股票潜在收益。
也就是说，不管是英特尔的15%、还是台积电的5%，或者是三星的3%，都是站在“3：1”这样的投资公平比例基础上，此外，无论是谁，取得这项股权投资案，根据契约将有2.5年的股票闭锁期。
