北京华林嘉业科技有限公司(简称CGB公司),其CGB-BL系列全自动高温湿法蚀刻设备(Patterned Sapphire Substrate 即图形化蓝宝石基板,简称PSS设备),在大陆出台十二五之际,成功投入市场。
该公司致力于微电子集成电路、半导体材料、半导体照明LED、有机发光二极管OLED、光伏太阳能、LCD-TFT 液晶等行业领域。PSS技术,不仅可以有效的减少差排密度,还可提升光取出效率。
PSS对均温性要求极为严格,工作温度区间介于280至300℃,温度误差要求±1℃,温度精度误差要求±0.1℃。至于侧蚀均匀度有三个重要指标:Wafer本身、Wafer to Wafer及 Run to Run均需在正负3%。
目前,CGB-BL系列全自动高温湿法蚀刻设备目前已有某台资江南电竞官网客服电话 採购使用,设计清洗规格为2 inch ,2cassette/Batch, 25 Pcs/cassette;4 inch,1 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;6 inch,1 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;热酸排放工艺10min左右完成,加热模组可加热至600℃;全程自动化控制,几何曲线加减速运动,冲击小、运动平稳,机械臂定位精度高,并可选配进口自动灭火系统;分体式CDS自动供液系统;尾气 Scrubber系统;近期已有20餘家意向客户参观指导。
CGB-BL系列湿法清洗设备,在LED行业的切、磨、拋、及外延(磊晶)等各道工艺,CGB均有着非常成熟的设备研发制造经验。该公司计划在2011年将CGB2011-10第二代高温湿法工艺设备以及相关配套的第三代乾燥设备推向市场。